掩膜

时间:2024-01-14 10:16:33编辑:阿育

掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”,其工作原理如下:根据客户所需要的 图形,掩膜版厂商通过光刻制版工艺,将微米级和纳米级的精细图案刻制于掩膜版基板 上,掩膜版的原材料掩膜版基板是制作微细光掩膜图形的感光空白板,再将不需要的金 属层和胶层洗去,即得到掩膜版产成品。

掩膜版对下游行业生产线的作用主要体现为利 用掩膜版上已设计好的图案,通过透光与非透光的方式进行图像(路图形)复制,从而 实现批量生产。

掩膜版制造原理

掩工作原理类似于传统相机中的“底片”。对下游制程材料(一般是镀有遮光膜的基板上再涂有一层光刻胶)通过掩膜版进行曝光,随后通过显影、刻蚀、脱模、清洗等工艺将掩膜版上的设计图形复制到下游制程材料上,其特点是企业可以借此批量生产标准化产品。

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